粘片機 返回列表頁

粘片機 WSB300 通過對鍵合腔體內(nèi)柔性隔膜（diaphragm）的精確控制，實現(xiàn)了超薄晶圓在鍵合過程中的無開裂、高重復性的鍵合厚度以及優(yōu)異的尺寸精度。該隔膜能夠使晶圓以受控方式壓入蠟層中，形成均勻且平行的緩沖層，從而有效保護晶圓及其器件結(jié)構(gòu)。同時，設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計避免晶圓/基板及器件結(jié)構(gòu)與支撐盤發(fā)生直接接觸，進一步降低了晶圓損傷風險。

粘片機設(shè)備采用觸摸屏控制界面，操作直觀，用戶可對溫度與載荷等關(guān)鍵工藝參數(shù)進行編程控制。內(nèi)置的壓力鍵合系統(tǒng)結(jié)合真空與正壓調(diào)節(jié)，可實現(xiàn)穩(wěn)定可靠的鍵合效果。其真空/壓力腔體支持最大 300 mm（12 英寸）直徑、12 mm 厚度的樣品，樣品放入后系統(tǒng)可自動提升真空并升溫至設(shè)定值，具體工藝時間則取決于鍵合材料、晶圓尺寸及工藝參數(shù)組合。整個鍵合流程支持對時間、溫度及蠟揮發(fā)過程的全自動控制，并可根據(jù)需求進行靈活調(diào)節(jié)與優(yōu)化，包括冷卻階段在內(nèi)，通常約 60 分鐘即可完成一次高質(zhì)量的自動化鍵合工藝。