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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 電子/電池,綜合 |
Brooks CTI低溫泵
CTI低溫泵產品是在低溫高真空技術領域*，CTI*的低溫泵及低溫泵系統設計帶來了*的表現，可靠性和生產能力，無論從單個低溫泵用于高技術研究領域，還是到復雜的低溫泵系統用于半導體生產，數據存儲，平板顯示，和光學器件，CTI為低溫高真空技術制訂了標準。
CTI-Cryogenics Products/CTI系列產品
On-Board® IS Cryopump Systems
On-Board® Cryopumps
On-Board® Waterpumps
Cryo-Torr® Cryopumps
Cryo-Torr® 20HP High Performance Cryopump
Compressors
Cryodyne Refrigerators
CTI 智能低溫泵產品優勢:
1. 專門為離子植入制程所設計的新一代智能型低溫泵系統.
2. 磚利的分布式監控系統及個別調整低溫泵功能,以維持系統真空效能,提供制程所需的一致性
3. 快速再生系統和可同時控制多組低溫泵
4. 節能設計,不需消耗太多能源和冷卻水
5. 安裝容易,使用方便。
6. 加強型 GOLDLink 軟件提供遠程監測預防和預測性維護
Brooks CTI低溫泵
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