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內容聲明：
您訪問的Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150產品信息，由北京亞科晨旭科技有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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產品簡介
Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150產品參數
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子/電池 |
Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150詳細信息
Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
一、產品簡介
德國Centrotherm公司是國際主流的半導體設備供應商，尤其在高溫設備領域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火設備，主要用于滿足研發和小規模量產所需的多種工藝要求。
Centrotherm測溫系統適用于從室溫至高溫的廣泛區間。Centrotherm優化的多區溫控系統結合可以獨立控制的加熱燈，提供了出色的控溫精度和控溫重復性。
此款設備配置手動裝載系統，適用于研發以及小型的量產。
成熟的真空操作和氣體管理系統為多種應用提供了可控的氣體環境。出色的性能和高度的靈活性，結合小的占地面積，低的客戶擁有成本，使c.RAPID 150成為一款優良的手動RTP設備。
二、典型應用
退火：一般退火、接觸層（Contact）退火、源/漏退火、勢壘金屬退火
硅化
氧化
摻雜活化
三、產品特性
可在常壓或者真空（控壓）下工作
高度靈活性：適用于最大6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盤
升溫速率約150 K/s
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