Name: 高溫退火爐系統(tǒng)
Brand: 北京亞科晨旭科技有限公司
SKU: Centrotherm Activator150
Availability: InStock

一、產(chǎn)品簡介

Centrotherm Activator 150 高溫爐設(shè)計(jì)用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm*工藝爐管和加熱系統(tǒng)設(shè)，允許工藝溫度達(dá)到 1850 ℃。

此外，Activator 150 系列的產(chǎn)品可以實(shí)現(xiàn)生長石墨烯生長。通過碳化硅升華生長石墨層可以獲得高性能器件。

Centrotherm 新一代SiC工藝爐管的研發(fā)用以滿足新興的150 毫米 SiC工藝。

Centrotherm Activator 150-5 是為研發(fā)工作而特制的，而Centrotherm Activator 150-50專為大批量生產(chǎn)設(shè)計(jì)。

廣泛的工藝范圍實(shí)現(xiàn)了對自定義化程序的優(yōu)化, 例如溫度, 氣路系統(tǒng)和壓力。

內(nèi)容聲明：

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高溫退火爐系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù)

高溫退火爐系統(tǒng)詳細(xì)信息