IYUKI美幸輝 緊湊型氣動直通真空閘SE-N40 行業(yè)用途

MIYUKI美幸輝 緊湊型氣動直通真空閘SE-N40 行業(yè)用途

SE-N40 屬于 SE 系列直通式氣動真空閥，采用 NW40（KF40）ISO-KF 快拆法蘭，單作用彈簧常閉驅(qū)動結(jié)構(gòu)，通氣開啟、斷氣自動閉合。整機一體化圓柱結(jié)構(gòu)，氣缸內(nèi)置無側(cè)向凸起部件，軸向布局緊湊；直通式流道氣流阻力較小，開放通導(dǎo)能力 45L/s，適配中等流量真空支路通斷控制。閥門支持選配磁性感應(yīng)開關(guān)，輸出閥位信號對接自動化控制系統(tǒng)；閥體在潔凈環(huán)境完成裝配調(diào)試，密封表現(xiàn)穩(wěn)定，適配常壓至 1×10??Pa 中高真空工況，廣泛適配多個制造行業(yè)中小型真空管路隔斷工況。

半導(dǎo)體行業(yè)多用于中型真空腔體預(yù)抽管路、真空計采樣支管、等離子設(shè)備分子泵前級隔離。氣源中斷時，閥門依靠彈簧自動閉合，阻擋大氣倒灌進入真空腔體，降低真空規(guī)、晶圓樣品氧化污染風(fēng)險。緊湊機身便于集成在自動化真空設(shè)備內(nèi)部，適合多條管路密集排布場景。對比 SE-N25，SE-N40 通流能力更大，能夠縮短腔體抽真空耗時，適配容積更大的工藝腔體配套管路。

光學(xué)鍍膜行業(yè)適配中型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、UV 真空固化設(shè)備，用作樣品預(yù)處理腔體、蒸發(fā)源輔助抽氣管路通斷控制。設(shè)備檢修階段可以隔離局部管路，無需對整套系統(tǒng)泄壓，提升設(shè)備周轉(zhuǎn)效率；KF 快拆法蘭搭配卡箍連接，拆裝便捷，方便現(xiàn)場維護作業(yè)。

鋰電與真空檢測行業(yè)，配套氦質(zhì)譜檢漏工裝、中型真空烘烤、真空脫泡設(shè)備主管路控制，穩(wěn)定密封性能維持真空系統(tǒng)基礎(chǔ)真空水平。科研與高校實驗室常選用該型號搭建管式爐、真空材料測試平臺，用作樣品充氣支路、真空監(jiān)測管路控制閥門，第三方真空工藝研發(fā)平臺也將其用于搭建中型實驗管路。

閥座采用均衡壓緊密封結(jié)構(gòu)，標(biāo)配 FKM 氟橡膠密封圈，可根據(jù)工藝氣體工況調(diào)整密封材質(zhì)；閥門啟閉循環(huán)次數(shù)充足，長期重復(fù)運行工況下密封狀態(tài)保持穩(wěn)定。安裝角度不受限制，支持水平、豎直多種布設(shè)方式。

相較于角式真空閥，直通布局不占用橫向空間，多臺閥門可緊密并排布置，節(jié)省設(shè)備內(nèi)部安裝空間。同系列擁有 SE-N16、SE-N25、SE-N50 多款口徑規(guī)格，可按照管路尺寸、抽氣流量靈活選型。作為進口緊湊型真空切斷元件，SE-N40 結(jié)構(gòu)精簡、安裝靈活，是鍍膜設(shè)備、真空檢測儀器、實驗室真空系統(tǒng)中等流量支路通斷常用真空閥門方案。