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應用領域	環保,化工

Verios 5 XHR SEM超高分辨掃描電鏡利用亞納米分辨率和高材料對比度進行納米材料表征和分析。

Verios 5 XHR SEM超高分辨掃描電鏡

利用亞納米分辨率和高材料對比度進行納米材料表征和分析

使用 SmartAlign 技術時，用戶無需對電子束鏡筒進行任何對中，這不僅能最大限度地減少維護，還能提高電鏡生產率。

包括 Thermo Scientific 獲得的 UC+（單色器）電子槍、ConstantPower 透鏡和靜電掃描，可實現準確穩定的成像。

Elstar Schottky 電子源單色器（UC+）FESEM 技術和性能，實現從 1 至 30 keV 的亞納米級分辨率。

Verios 掃描電鏡非常適合實驗室計量應用，能夠在高放大倍數下校準經 NIST 認證的標準品。

結合了先進的高靈敏度、鏡筒內 & 透鏡下探測器和信號過濾功能可實現低劑量操作和最佳襯度選擇。

低至 20 eV 也可實現用于真正的表面表征的分辨率。

借助 AutoScript 4 軟件，可選配基于 Python 的應用程序編程界面 (API)。

電子束分辨率	在 30 kV STEM 下 0.6 nm（可選）在 2-15 kV 下 0.6 nm 1 kV 時 0.7 nm 在 500 V 下 1.0 nm
標準檢測器	ETD、TLD、MD、ICD、射束電流測量、Nav-Cam+、IR 攝像機
可選檢測器	可選檢測器 \| EDS、EBSD、RGB 陰極發光、拉曼、WDS 等
載物臺偏倚（光束減速、可選）	標準配置包括高達 -4000 V
樣品清潔	標配配置包括集成式等離子清洗裝置
樣品操縱	Verios 5 UC 5-軸電動共心載物臺，配有 XYR 軸壓電驅動。 XY 范圍 150 x 150 mm2，70° 傾斜范圍。通過門加載。	Verios 5 HP 已安裝腔室，超穩定 5 軸所有壓電驅動載物臺。 XY 范圍 100 x 100 mm2，70° 傾斜范圍。通過自動負載鎖加載。
腔室	379 mm 內徑、21 個端口
軟件選項	使用劃分和拼接進行自動大面積采集的 Thermo Scientific Maps 軟件；相關工作 Thermo Scientific AutoScript 4 軟件；基于 Python 的應用程序編程界面圖案生成軟件 TopoMaps 用于圖像彩色化、圖像分析和 3D 表面重建

可從兩種高精確穩定的壓電陶瓷驅動樣品臺中進行選擇。

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