半導(dǎo)體蒸汽發(fā)生器

半導(dǎo)體蒸汽發(fā)生器蒸汽出口溫度可到1200℃，液態(tài)水蒸發(fā)量達1000mL/min，汽化通道無死體積，集精準控制、高效能、輕量化與一體，通過精密計量泵控制進液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。它的應(yīng)用范圍較廣泛，主要為實驗室產(chǎn)生流量可調(diào)、溫度可控的水蒸氣，也可作為液體的相變發(fā)生器。

可支持客戶各種進出口接口形式的定制；可支持遠程控制；可支持實時在線數(shù)據(jù)的讀取與保存；設(shè)備體積小，輕便，只有傳統(tǒng)蒸氣發(fā)生器體積的十分之一；設(shè)備壽命長，正常使用5年以上，過程中無任何易損耗材需更換。

技術(shù)優(yōu)勢：

• 采用特殊算法

精確控制汽化進口的水流量和汽化過程中功率、液位、壓力、溫度等 最終達到對出口蒸汽的調(diào)節(jié)。精密控制精度，蒸發(fā)量大范圍精準可調(diào)。

• 采用特殊汽化結(jié)構(gòu)
  

大幅抑制汽化不均勻而產(chǎn)生的脈動汽化過程穩(wěn)定，成份均勻。

• 模塊化設(shè)計
  

結(jié)構(gòu)簡潔，接口和安裝形式均可按應(yīng)用快速定制，可集成，溫度/濕度/壓力可按需定制。

• 高效且瞬間汽化    
  

比傳統(tǒng)汽化效率更高 更快。

產(chǎn)品特點：

快速啟動 數(shù)秒內(nèi)可以完成啟動

設(shè)備體積小，輕便，只有傳統(tǒng)蒸氣發(fā)生器體積的十分之一

精度確度高，可達±1%

出口溫度可調(diào)節(jié)，范圍從常溫至80℃

氣化率100%，氣化通道無死體積

換熱效率高，熱損失小

出氣穩(wěn)定，不冷凝

進液流量 溫度等參數(shù)可設(shè)置

運行狀態(tài)直觀顯示

可支持實時在線數(shù)據(jù)的讀取與保存

可集聯(lián)與遠程

可按需求定制

設(shè)備壽命長，正常使用5年以上，過程中無任何易損耗材需更換

公司介紹：

億科過程控制技術(shù)（蘇州）有限公司坐落于蘇州太湖新城復(fù)旦大學(xué)張江長三角創(chuàng)新研究院內(nèi)，為復(fù)旦大學(xué)張江研究院和太湖新城科技創(chuàng)新平臺培育企業(yè)，是省級相變熱管理技術(shù)創(chuàng)新中心。其擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍，具有豐富的過程工藝設(shè)計經(jīng)驗。