當前位置:梅特勒托利多 METTLER TOLEDO>>技術文章>>別再熬了!半導體光刻膠/研磨液測水,HX204十分鐘搞定烘箱一天的活
別再熬了!半導體光刻膠/研磨液測水,HX204十分鐘搞定烘箱一天的活

半導體行業,有兩個“嬌氣又關鍵"的材料,堪稱制程里的“玻璃心選手"——光刻膠、研磨液。別小看它們,作為芯片光刻、CMP化學機械拋光環節的核心耗材,產品質量哪怕出現微小偏差,都會直接導致晶圓良率暴跌、圖案偏移、拋光不均、表面劃痕等一系列生產事故。所以對其工藝品質的精準控制,是所有耗材實驗室的日常必修課。
但很多工廠至今還在死守傳統烘箱干燥法做固含量檢測,每天被繁瑣流程折磨到崩潰,今天就來好好扒一扒老方法的痛點,解鎖半導體耗材測水的高效新方案!

國標嚴苛,但烘箱法“太拖后腿"
先劃重點!傳統烘箱法,完全跟不上半導體的快節奏生產,痛點多到數不清:
1
耗時長,效率崩盤
烘箱法需要樣品預處理、恒溫烘干、冷卻、稱重、二次烘干恒重,一套流程走下來動輒4-8小時,遇上粘稠的光刻膠、高固含研磨液,耗時甚至超10小時,當天生產的數據當天出不來,完全滯后生產節奏。
2
誤差大,容錯率低
光刻膠易高溫氧化、揮發變質,研磨液易出現成分熱分解,烘箱高溫長時間加熱,會導致樣品有效成分損耗,測出數據虛高或波動大,不符合半導體高精度質控要求。
3
操作繁瑣,人為誤差多
全程依賴人工稱重、控溫、計時、降溫,步驟繁雜,新手極易操作失誤,而且樣品易被環境干擾,數據重復性差。
4
能耗高,成本驚人
長期高溫運行耗電驚人,同時耗費大量人工時間成本,對于批量質控檢測來說,性價比極低。
行業救場
HX204快速水份測定儀精準破局

不想被烘箱法拖慢產能、拖累良率?梅特勒托利多HX204快速水份測定儀,專為半導體粘稠、高精密耗材量身打造,完美適配光刻膠、研磨液水分檢測,直接顛覆傳統檢測模式!
作為行業標桿級快速檢測設備,HX204摒棄了傳統烘箱的低效模式,采用鹵素干燥失重法,升溫均勻、控溫精準,既能快速干燥樣品,又能最大程度避免樣品熱分解、有效成分揮發,完美貼合行業質控標準。
METTLER TOLEDO
左右滑動查看更多
結語
半導體行業拼的就是精度和效率,傳統烘箱法早已跟不上高端制造的節奏。梅特勒托利多HX204快速水份測定儀,用極速、精準、穩定的檢測能力,解決光刻膠、研磨液固含量檢測的痛點,幫企業告別數據滯后、誤差超標、成本浪費的難題,守住芯片生產的第一道質量關卡!
了解更多,請掃描下方二維碼

開啟“置頂服務號"模式
即時獲取最新咨詢與福利










12


