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IE414,IE514熱電離真空計

IE414 和 IE514 是基于熱陰極電離效應的真空傳感器。IE414 是一種 Bayard-Alpert 真空計，而 IE514 則基于抽氣機原理。這些無源真空計由 IM540 真空計控制器組合和控制。

通過調節陰極發射電流，IE414 的測量范圍從 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超過 9 個分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以達到 2×10-12mbar 的測量下限，這要歸功于其本身減少了 X 射線和離子解吸效應。IE414 和 IE514 真空計頭專為低放氣真空系統設計，可在非常高溫度（400 °C）下烘烤。耐高溫真空計頭電纜套件也可用于超過 200 °C（傳感器法蘭處為 250 °C）的高溫烘烤。

優勢

采用單獨校準的傳感系統，測量精度高

可更換陰極

非常高的高溫烘烤溫度可達 400 °C

IE414

Bayard-Alpert 傳感原理

測量范圍達 2×10-11毫巴

陰極發射電流調制（與 IM540 真空計控制器結合使用）

IE514

抽氣機傳感原理

低測量極限，低至 2×10-12mbar

顯著降低 X 射線和離子解吸效應

典型應用

需要在超高真空范圍內進行精確真空測量和高溫烘烤的科學和研發應用

運營單位

真空計控制器 IM540

規格

IE414,IE514熱電離真空計