BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì) 返回列表頁

優(yōu)勢
1，雙測量儀（2 個(gè)傳感元件），測量范圍寬，降低成本，節(jié)省空間
2，用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
3，皮拉尼互鎖保護(hù)，避免燈絲過早燒毀
4，自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
5，電隔離電子元件，避免雜散電流
6，滑動(dòng)排放模式，避免切換排放流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
7，可移動(dòng)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片延長了烘烤時(shí)間
8，設(shè)定點(diǎn)繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 BPG402

13，符合 RoHS 規(guī)范

典型應(yīng)用
半導(dǎo)體工藝中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制 超高真空范圍

測量范圍（空氣、O2、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar

準(zhǔn)確性   1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  讀數(shù)的 ±15
            1 x 10-2 mbar … 1000 mbar   讀數(shù)的 ±30
重復(fù)性 讀數(shù)的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

BPG552 ATM至超高真空雙真空計(jì)