MFC331 熱式微流量氣體質量流量計

2 sccm – 200 slm   主要參數 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

介質要求 Applicable Media 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases 

氣體種類 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas 

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 10, 20, 50, 100, 200 sccm; 0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200 slpm 

測量范圍 Measurement range 0.5% F.S. (1:200) 

控制范圍 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC）

準確度 Accuracy ±1% F.S. 

重復精度 Repeatability ±0.2% F.S. 

線性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制響應時間 Typical control response time <1 秒 

預熱時間 Warm-up time 5 min (T95),

30分鐘最佳 30min for optimum accuracy 

閥門 Valve function 

常閉式 Normally Closed 

泄漏率 Leak integrity 1*10-9 Pa*m3/sec He 分辨率 Resolution ratio 0.001sccm

公司自主研發的核心器件全自研全國產化的熱式氣體質量流量計（MFC330/MFC350 系列產 品）已經量產并通過市場驗證。核心部件毛細管熱式傳感器、高精度電磁比例閥自主 研制、核心生產設備及治具檢具亦自主研制。本項目專注于的層流差壓式氣體質量流 量控制器（MFC）的研發、國產化量產、銷售與技術服務，聚焦半導體、光伏、顯示面板、 真空鍍膜、分析儀器、生物醫藥、精細化工等制造領域。針對國內 MFC 長期被海 外品牌壟斷、供貨周期長、價格高昂、售后滯后、卡脖子風險突出等行業痛點，團隊依托 自主流體控制算法、自產高精度流量傳感器及控制比例閥、低漂移溫控補償技術，打造高 精度、高穩定性、長壽命、高性價比的國產化 MFC 系列產品。 項目產品可全面替代進口美國 Brooks、MKS、Alicat、日本 Horiba 等主流海外品牌，覆蓋 微小流量、常規流量場景，兼容腐蝕性氣體、惰性氣體、劇毒、易燃易爆氣體等多介質工 況。目前項目已完成技術打磨、正在進行性能測試、小批量試產，具備市場化落地條件。 本輪計劃融資用于產品迭代研發、產線擴建、資質認證、市場拓展、布局及核心團隊 擴充，打破進口壟斷、快速搶占國產替代市場紅利，打造的精密氣體流量測控儀 表品牌。